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真空泵機組一般(ban)由下列元件(jian)構成：各種(zhong)；真(zhen)空(kong)測量裝(zhuang)置；真(zhen)空(kong)閥門；真(zhen)空(kong)管道和一些其它元件(jian)，例(li)如撲集(ji)器(qi)、真(zhen)空(kong)接頭、儲氣罐、波紋管、除(chu)塵器(qi)和真(zhen)空(kong)繼電(dian)器(qi)等(deng)。
按機組的工作壓力分，有粗真空泵機組(>1330Pa)；低真空泵機組(1330~0.13Pa)；高真空泵機組(0.13~1.3×10-6 Pa)；超高真空泵機組(1.3×10-6~1.3×10-11 Pa)；極高真空泵機組(<1.2×10-11 Pa)。
用于較高真空的羅茨真空泵(機械增壓泵)不能直排大氣，如直排大氣會造成羅茨真空泵吸氣口與排氣口壓差太大，從而使羅茨真空泵過載，如單純加大羅茨真空泵電機功率又會造成羅茨真空泵過熱以致羅茨真空泵轉子之間的微小間隙很快因熱膨脹而卡死。為保證羅茨真空泵能達到較高真空必須保證羅茨真空泵轉子之間的間隙。所以羅茨真空泵使用時必須設有前級泵，用前級泵將系統內壓力抽至一定范圍內時再啟動羅茨真空泵，如此可以避免羅茨真空泵過載。前級泵可以選用水(液)環式真空泵、旋片式真空泵、滑閥式真空泵、往復式真空泵等可直排大氣的真空泵。
羅茨真(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵機組(zu)在一般(ban)情況下，選(xuan)用水(shui)環泵作為前級泵比其它真(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵更(geng)為有利，這主要(yao)是(shi)(shi)由(you)于(yu)它能(neng)夠(gou)抽除大量的(de)可凝(ning)(ning)性蒸(zheng)(zheng)汽，特別是(shi)(shi)當氣(qi)鎮油(you)封機械(xie)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵排(pai)除可凝(ning)(ning)性蒸(zheng)(zheng)汽能(neng)力(li)不夠(gou)，或使用的(de)溶劑(ji)能(neng)使泵油(you)惡化而(er)影響性能(neng)，或者是(shi)(shi)真(zhen)空(kong)(kong)(kong)系統不允許油(you)污(wu)染的(de)時候更(geng)為明顯(xian)。
低真空泵機組的(de)主(zhu)要(yao)(yao)特點(dian)是工(gong)作(zuo)壓(ya)力高，排氣量大，但抽(chou)(chou)速比高真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)機(ji)組低(di)。多用于真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)室的(de)粗抽(chou)(chou)以及(ji)放氣量很大，工(gong)作(zuo)壓(ya)力較高的(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)輸送、真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)浸漬(zi)、真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)過(guo)慮(lv)(lv)、真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)脫氣、真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)干燥等(deng)(deng)(deng)裝置中。低(di)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)機(ji)組的(de)主(zhu)泵(beng)(beng)常(chang)用往復式真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)、油(you)封真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)、水(shui)噴射(she)泵(beng)(beng)、水(shui)蒸(zheng)(zheng)汽(qi)噴射(she)泵(beng)(beng)、水(shui)環泵(beng)(beng)、油(you)蒸(zheng)(zheng)汽(qi)噴射(she)泵(beng)(beng)、分子(zi)篩吸附泵(beng)(beng)和羅茨(ci)泵(beng)(beng)等(deng)(deng)(deng)。使用低(di)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)機(ji)組，還需要(yao)(yao)根據被抽(chou)(chou)氣體(ti)的(de)清潔程度、濕度等(deng)(deng)(deng)工(gong)藝要(yao)(yao)求，配置除塵器、干燥過(guo)慮(lv)(lv)器等(deng)(deng)(deng)元(yuan)件。例如我廠生產的(de)JZJB,JZJ2B,JZJS等(deng)(deng)(deng)羅茨(ci)水(shui)環真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)(beng)機(ji)組
高真空泵機組例如JZJX,JZJP型(xing)羅茨旋片真(zhen)空泵機(ji)組等。
①挑好主泵，主泵有擴撒泵、分子式泵、濺射陰離子泵、鈦泵、底溫泵等。
②選好預抽泵、儲氣管(防震、縮短工作周期、防止真空室內瞬間大量放氣、穩定擴散泵出口壓力)
超高真空泵機組
主泵上限重力作用度要高、漏氣率要低、耐200~450℃烘烤。
①分散泵發電機組：較低返流、把控好環境污染;
②原子泵超臨界鍋爐：對氫解壓縮比小，殘渣氣休大部分是氫;
③濺射陽離子泵發動機組：平常與鈦泵整合動用;
④低溫泵機組：無污染。
因(yin)超高(gao)真空(kong)泵(beng)機組(zu)造價成(cheng)本較高(gao)，組(zu)裝構(gou)造構(gou)成(cheng)較嚴格，現逐漸被羅茨旋片真空(kong)泵(beng)機組(zu)所取代。但(dan)是(shi)在極其嚴格的工作環境要求(qiu)下(xia)還是(shi)又一定量(liang)的需(xu)求(qiu)。
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